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氣體質量流量控制器的工作原理
- 2019-11-23-

           氣體質量流量控制器由質量流量傳感器,分流器通道,流量控制調節閥和放大控制電路等部件組成。

           本質流量控制器利用流動體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。

           采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值信號去驅動控制調節閥門,閉環控制流過通道的量使之與設定的流量相等。

           分流器在主通道和毛細管間產生層流。

           控制器輸出的流量以電壓或電流形式輸出,滿量程為 5V 或 20mA

           顯示方式用戶可以選為實際流量顯示。

           MFC 數字型質量流量計/控制器通過 RS232/RS485 直接與計算機連接。

           控制操作一般在流量顯示面板上進行。設置有三位閥門控制開關,當置“關閉”位時,閥門關閉。當置“清洗”位時,閥門開到最大,以便氣路清洗。當置于“閥控”時,則按設定電壓的數值自動控制氣體流量; 當用戶設定為滿量程時,作為流量計使用。

           控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質量流量成正比, 滿量程(F.S) 流量檢 測輸出電壓為+5.00V。質量流量控制器的流量控制范圍是(1~100)%F.S (量程比為 100:1), 流量分辨率是 0.1%F.S 。

           注意:

           當質量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時,也可以當質量流量計使用。在做流量計使用時,流量檢測電壓的輸出值最大可能達+10V 以上,不過要注意,當流量超過滿量程值(+5.00V)后,流量檢測電壓與通過的實際流量不成線性對應關系。清洗時,流量顯示不準確,還可能出現流量增大顯示反而減小的異?,F象,但并不會對流量計本身造成損傷。

           在氣路中氣源未開啟的情況下,禁止長時間使用清洗功能。用于“清洗”狀態的時間不宜過長,否則將對流量控制器的性能產生影響。


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