注意事項
1. 儀表盒內部電器元件在出廠前均以調整好,用戶不得隨意自行調整。
2 .使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時,須在氣路中加裝過濾器等。
如果流量控制器出口接有液體源瓶,應在流量控制器出口安裝單向閥,防止液體
回流損壞流量控制器。
3. 使用腐蝕性氣體和有機溶劑氣體問題
控制器通道采用的材料為:SUS316L 不銹鋼, 聚四氟乙烯,氟橡膠等耐蝕材料。
在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下,可以用于控制一般
的腐蝕性氣體。使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時,應在定貨時聲明。使用
特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。
4 .安裝位置問題
本控制器安裝時最好保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置
安裝,非水平位安裝時若發現零點偏移,可調整零點后再工作。如果用戶訂貨
時注明安裝位置,我廠也可根據用戶的安裝位置進行標定后出廠。
5 .注意工作壓差
要特別注意工作介質的氣壓,應注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在
指標范圍之內。工作壓差不在規定的范圍內,流量將無法關閉或調小。在使用
大流量的質量流量控制器時,要注意適當加粗管道和減小氣源內阻,若工作壓
差小于要求值,有可能流量達不到滿量程值。
控制器電磁調節閥并不能當做氣路截止閥使用,一般情況下用戶應在控制器進
氣口前安裝電磁(手動)截止閥。(有必要時在控制器前后都應加裝)
6. 閥控操作注意:
在閥控操作為“清洗”后不能直接轉為“閥控”狀態,應先切換至“關閉”狀
態。
7 .標定和不同氣體的換算
① 本控制器出廠用氮氣(N2)標定
質量流量的單位規定 | SCCM (標準毫升/分);SLM (標準升/分) | CCM(毫升/分); LM (升/分) |
標定狀態規定 | 溫度 273.15K0℃;氣壓 101325Pa(760mmHg) | 溫度 25℃; 氣壓 101325pa |
F.S(Full Scale) | 滿量程值 |
② 用戶使用其它氣體時,可以通過氣體質量流量轉換系數進行換算,將質量控制
器顯示出的流量讀數,與某使用氣體的轉換系數相乘,即得該被測氣體在標準狀態下
的質量流量。如果用戶使用混合氣體,可以通過附錄介紹的方法,計算出混合氣體的
轉換系數。
③ 氣體轉換,通常氣體的切換不需要利用氣體轉換系數,只需要在設定畫面,如
下圖:
利用 ,
將光標移至,
用
,
選擇當前介質后。(裝置已內置
60 種常用氣體)將光標移至, 確定退出即可。
此時,裝置將自動完成。顯示的瞬時流量為當前選擇的氣體介質的實際流量。不需要
人工利用氣體轉換系數轉換。
8 .出廠初始的模式為:一般工作模式 ,里面的分段參數里沒有修改和查看的權限!
只有在軟件端把 MFC 或 DSN2000B 設為分段模式,那么在鍵盤上才能設定和查
看分段參數。
9. 時間的累積精度到分鐘 [時] [分],如果要精確到 秒 (S) 上的時間累積功能,
請運用分段里的多段組合功能,分段中的每段最高為 99 分鐘 59S,可以組合幾
段,設定分鐘和秒,設定同樣流量,后選擇分段關閉實現。
10. 流量的累積小數解決
方法一:
比如:量程為 5.000SCCM,需要累積 3.230SCCM 流量值
可以使用小數功能:輸入 3.230SCCM 的值
方法二:相對處理
因為累積值響應整數相對小數較為準確,把累積流量值化為整數 323,把量程
也放大 100 倍,相應調節為 500.0 就可以實現,但是這個比例處理是相對的,
但你如果在 DSN2000B 介面讀取每分鐘的流量值還要/100 來還原真實的流量值,
在流量設定值上,也要考慮相對的放大值來設定。
11. 復位
此功能請參照“6.11 時間組態界面”(P20)
是用“時間組態界面”進行復位。復位后,組態自動恢復到原始狀態??蛻粜?/p>
要重新進入組態,照實際進行重新設置。
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