用于微小流量測量的熱式質量流量計是一種直接式質量流量計，是利用傳熱原理測量流量的儀表，即流動中的流體與熱源（流體中外加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關系來測量流量的儀表。

熱式質量流量計用得最多的有兩類：一類是利用流動流體傳遞熱量，改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布式流量計，曾稱量熱式流量計；另一類是利用熱消散效應的金氏定律熱式流量計。

按照熱式質量流量計的原理，有的公司也推出了適用于液體微小流量測量的熱式質量流量計。其測量范圍有0~200g/h和0~1000g/h（用水標定）兩種。

在特殊設計的傳感器中，流體在測量管內流動，測量管中點溫度被控制在比進口溫度高20℃的恒定值，熱量是垂直于管道軸線分布傳送給流體。這一點同適用于氣體的熱式質量流量計恰恰相反。適用于氣體的熱式質量流量計與包含阻流件的管道配合，可以很容易地擴大測量范圍。適用于液體的熱式流量計卻不能，因為流體黏度變化、氣泡、熱對流和安裝位置等都會直接影響其運行和性能。