氣體流量是部分大氣等離子清洗機和真空等離子清洗機處理效果是否穩定的重要技術參數，不同類型的等離子清洗機、使用不同的工藝氣體，對于氣體流量控制器的選擇會有所不同。我們總結了一些氣體流量控制器選擇的小貼士，現分享給大家。

1 大氣等離子清洗機的流量控制器選擇

根據放電形式不同，大氣等離子清洗機放電所需氣體條件也是有講究的。常見的射流型和射頻型大氣等離子清洗機，應該通入符合一定壓力和流量要求的壓縮空氣（CDA），才會產生穩定的等離子體，以保證設備的正常運行。通常的流量控制方式是以調壓閥和手動浮子流量計配合的方式來保證工作氣壓和氣流的穩定。

大氣等離子清洗機建議選用帶有流量控制器的專用氣源來為其提供穩定的工作氣體。此裝置最大的優點是攜帶方便、氣源干燥清潔、壓力和流量持續穩定。

2 真空等離子清洗機的流量控制器選擇

  工藝氣體流量的穩定性，會影響工業型真空等離子清洗機的處理效果，大多數工藝都對氣體流量控制要求非常嚴格，所以工業型真空等離子清洗機都是選用質量流量控制器來實現對工藝氣體流量的控制。在工業型真空等離子清洗機實際使用過程中，不同的工藝要求，需要選用不同流量控制范圍的質量流量控制器，真空等離子清洗機常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，部分大型真空等離子清洗機也會用到0~1SLM規格的質量流量控制器注：單位SCCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。

 通入不同的工藝氣體，建議選擇對應氣體的專用質量流量控制器，以保證輸入氣體的穩定和計量；不同的工藝氣體，分子大小不同、化學特性不同，使用同規格的質量流量控制器會存在流量誤差和安全隱患。如使用的是常規工藝氣體，也可選擇一種氣體作為標準，只需保證流量穩定即可；但是對于H2、CF4等特殊氣體，易爆易燃具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質量流量控制器。

實驗型真空等離子清洗機機，通常對流量控制要求不是非常嚴格，純手動操作的設備，也會選用手動浮子流量計。

3 其他注意事項

真空等離子清洗機需保證真空反應腔體內的壓力穩定，所以選擇好氣體流量控制器后，還需注意氣管接頭的挑選。通常我們會選用快擰接頭或卡套接頭作為氣體流量控制器的氣管接頭，以此來滿足工藝氣體真空管路的密封。

真空等離子清洗機在處理一些特殊材料的時候，可能會把液態單體作為放電介質，就必須使用手動浮子流量計作為流量控制器；對于腐蝕性單體則需使用防腐型的浮子流量計；對真空環境要求比較苛刻的，建議使用高密封性的浮子流量計。